Hafta | Teori Konu Başlıkları |
---|---|
1 | Temiz oda ortamı/koşullarının tanıtımı |
2 | Fotolitografinin prensipleri: Aşındırma, maskeleme, aygıt mimarilerinin desenlemesi |
3 | Fotolitografinin prensipleri: Metalizasyon, ısıl işlem, tel bağlama süreçleri |
4 | Fotolitografi süreçlerinde kullanılan aygıtlar/bileşenler |
5 | Kuru aşındırmanın prensipleri (e-demeti/iyon-demeti teknikleri) |
6 | Arasınav |
7 | Kuru aşındırma teknikleri |
8 | Kuru/ıslak aşındırma tekniklerinin karşılaştırılması |
9 | Difüzyon süreçleri |
10 | İyon implantasyon, termal buharlaştırna süreçleri |
11 | Ohmik ve Doğrultucu kontakların oluşturulması |
12 | Elektronikte Mikro/Nanoboyutlu üretimlere örnekler |
13 | Optoelektronikte Mikro/Nanoboyutlu üretimlere örnekler |
14 | Fotonik/Fononik/Plasmanonikte Mikro/Nanoboyutlu üretimlere örnekler |