| 1 |
Temiz oda ortamı/koşullarının tanıtımı |
| 2 |
Fotolitografinin prensipleri: Aşındırma, maskeleme, aygıt mimarilerinin desenlemesi |
| 3 |
Fotolitografinin prensipleri: Metalizasyon, ısıl işlem, tel bağlama süreçleri |
| 4 |
Fotolitografi süreçlerinde kullanılan aygıtlar/bileşenler |
| 5 |
Kuru aşındırmanın prensipleri (e-demeti/iyon-demeti teknikleri) |
| 6 |
Arasınav |
| 7 |
Kuru aşındırma teknikleri |
| 8 |
Kuru/ıslak aşındırma tekniklerinin karşılaştırılması |
| 9 |
Difüzyon süreçleri |
| 10 |
İyon implantasyon, termal buharlaştırna süreçleri |
| 11 |
Ohmik ve Doğrultucu kontakların oluşturulması |
| 12 |
Elektronikte Mikro/Nanoboyutlu üretimlere örnekler |
| 13 |
Optoelektronikte Mikro/Nanoboyutlu üretimlere örnekler |
| 14 |
Fotonik/Fononik/Plasmanonikte Mikro/Nanoboyutlu üretimlere örnekler |
