| Ders Adı | MICRO/NANOFABRICATION TECHNIQUES | Kod | KHFZ7032 |
| Kredi | 3 | AKTS | 8 |
| Z/S | Seçmeli | Teorik Saat | 3 |
| Uygulama Saat | 0 | Lab Saat | 0 |
| Ders Dili | İngilizce | Dersi Veren | Doç. Dr. FURKAN KURUOĞLU |
| Dersin Veriliş Türü | Örgün | ||
Elektronik/optoelektronik/fotonik/fononik/plazmonik aygıt teknolojilerinde kullanılan mikro/nanoüretim teknikleri ile üretim süreçleri ve temiz oda sistemleri hakkında bilgi birikimi oluşmasına katkı sağlamaktır.
Temiz oda teknolojileri, fotolitografi, elektron-demeti ve iyon demeti litografisinin prensipleri.
Sunumlar, laboratuvarda demonstrasyon, temiz oda ortamında örneklemeler
Chris A. Mack, Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication, John Wiley & Sons, (London: 2007), N. Kazuo, Dry Etching Technology for Semiconductors, Springe, 2015
